溶液成分夏操作条件对蚀刻速度的影响：溶液蚀刻，蚀刻注意事项

　　(1)FeCL3浓度对蚀刻速度的影响：FeCL3蚀刻液中随FeCL3浓度的增高，蚀刻速度加速。当所含FeCL3超过某一浓度时，因为溶液黏度添加，蚀刻速度反而有所下降。关于选用抗蚀印料或抗蚀干膜的铜零件，浓度可控制在35。B6左右；选用液体光致抗蚀剂(如骨胶、聚乙烯醇等)的铜零件，浓度町拧制在42。B吾左右。通常情况下控制在350g／L一600吕／L为宦。Feel，溶液的浓度范嘟及质量分数和相对密度的联系。

　　(2)盐酸的添加量对蚀刻速度的影响：在蚀刻液中参加盐酸，一则能够抑制Fecl3和cucl，的水解；二则可进步蚀刻速度。特别足当蚀刻液巾铡禽量达到37．4∥J．后+赫酸的效果更加明显。但这应根据不同的抗蚀层材料挑选适宜的酸度，假如抗蚀层选用骨胶、明胶、聚乙烯醇等光致抗蚀剂，则不能选用太高的酸度，否则，抗蚀层易于被损坏。关于感光树脂抗蚀剂及丝网日J刷抗蚀层，则能够挑选较高的酸度。

　　(3)温度对蚀刻速度的影响：在hcl，蚀刻工艺中，随温度的添加，蚀刻速度亦加速，比如当温度在50℃时，全新蚀刻液对铜的蚀刻速度叮达10“nI／n-访：似在实践爿：产中，都是选用常温蚀刻方法。Fecl，对铜的蚀刻是一个放热反应，跟着蚀划的进行，蚀刻液温度会逐步升高，蚀著4速凄加速。跟着FecL3的消耗，蚀刻速度也会下降。一起这一温升进程也比较缓慢，所以在整个蚀刻进程中蚀刻速度改变不大。

　　(4)拌和对蚀刻速度的影响：静止蚀刻的速度和蚀刻质量都是比较差的。这是风为在蚀刻进程中．一方面被蚀刻铜袁面和蚀刻液中都会有沉涟生成，影响了铜的正常蚀刻：另一方面，铜在蚀刻进程中，被蚀刻外表的溶液会逐步出现暗绿色，这表明在设蚀刻外表的Fec】，已跟铜发生了氧化还原反应而失掉r氧化才能。如但靠蚀刻液叶J n”的自身运动无法对被蚀刻外表的及时弥补，而使蚀刻速度变慢。这就是所说的浓差极化，即n“的运动速度跟不上Fe“被消耗的速度。

　　假如对蚀刻液进行拌和或选用喷淋等蚀刻方法，则能够加速Fe“的运动速度，使被蚀刻外表的Fe”能敏捷得到弥补，则能使蚀刻速度加速。如粜选用压缩空气拌和不但能进步蚀刻速度进町以使蚀剡液得到在生，延伸蚀刻液的使用寿命。但是，需适当弥补盐酸

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